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圧力センサ とは?

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圧力センサ(あつりょくセンサ)は、圧力を検知するセンサ

出典: 『ウィキペディア(Wikipedia)』


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ウィキペディア(Wikipedia)記事


圧力センサ(あつりょくセンサ)は、圧力を検知するセンサ

MEMSで一般的な圧力センサダイアフラムゲージ(diaphragm gauge)で、隔膜(ダイアフラム)に加わる圧力を膜の変形として検出する。 変形を検出する方法には静電容量の変化やひずみゲージを使う。小型の血圧計などに使われている。

膜に耐腐食性の材料を使用すれば、反応性の液体や気体の圧力も計測できる。

その他に気体によるダンピング気圧に依存することを利用して、振動子のQ値の変化を検出することで気圧を検出するタイプの圧力計もある


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この記事は、ウィキペディアの記事を複製、改変、再配布したものにあたり、GNU Free Documentation Licenseというライセンスの下で提供されています。ことなびに掲載されているウィキペディアの記事も、全てGNU Free Documentation Licenseの元に提供されております。



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