超音波モータ (ちょうおんぱモータ)とは、超音波振動を利用しロータあるいは リニア被駆動体を駆動する方式のモータ。駆動するための振動周波数が超音波領域になるために名づけられた。英語表記は USM (Ultrasonic Motor)、 またはHSM（Hypersonic Motor)。その区分は、波動原理から進行波型・定在波型、振動モードから共振型・非共振型、形状から円板型・平板型・くさび型があるが、実用化されているのは平板共振型、あるいは円板進行波型超音波モータなのでこちらを指す場合が多い。圧電効果を利用しているものは圧電モータと呼ばれることもある。円板進行波型は指田年生によって考案された。

目次 1 概要 1.1 歴史 1.2 従来型のモータとの比較 2 くさび型超音波モータ 2.1 基本原理 3 進行波型超音波モータ 3.1 基本原理 3.2 特徴 3.3 使用例 4 定在波型・縦屈曲多重振動子を用いた超音波モータ 4.1 基本原理 5 共振型・縦屈曲多重振動子によるモータ 5.1 特徴 5.2 使用例 6 外部リンク

概要

歴史

• 1979年 - くさび型超音波モータが考案される。
• 1982年 - 進行波型超音波モータが考案される。
• 1986年 - 世界初の市販品第一号が新生工業より発売される。
• 1987年 - キヤノンがカメラ用超音波モータを初めて商品化。
• 1993年 - 定在波型・縦屈曲多重振動子を用いた、リニアー・回転型の超音波モータが ナノモーション社/ジョナ・ズメリスにより考案される。

註）縦屈曲多重振動子の振動解析は 日本において、1965年代に 元NTT研究員の十文字博士が行っている。

註2) 縦屈曲多重モード平板振動子の超音波モータへの利用に関しては1987年頃には山形大学の富川義朗博士によって提案され、当初は紙送りへの応用研究が為されている。 富川博士らによって、十文字博士や近野正博士らによって当時までに盛んに研究されていたメカニカルフィルタに関する多重モード振動子を超音波モータに応用する考案が多数為されており、平板モータもその一部である。 日本音響学会や超音波研究会などの国内学会での発表が主体であった。また当時は特に大学研究において特許申請は重要視されていなかったが、このために少なくとも日本国内に置いては縦屈曲多重モード振動子は既知とされ、その後現在に至るまで多種の応用に繋がっている。

従来型のモータとの比較

ローレンツ力を利用した従来型のモータと比べて高精度で位置決めが出来る。 静止時の保持力が大きく、無通電で保持できるため、静止時の発熱が少ない。 構造上磁石を備えていないため、材料の選定によって超非磁性化が可能である。 従来型モータに比べ小型化に適している為、今後、微細加工技術の進展に伴いMEMSでの開発が進みつつある。

一方、従来型のモーターの効率がいずれも90%以上あるのに対して超音波モータの効率は低く駆動電圧が高い等の特徴がある。 寿命は従来型のモータと比べて短く、高精度な金属部品を多く使うためコストも割高となっている。

くさび型超音波モータ

基本原理

圧電素子等により発生させた超音波振動を利用してくさびを振動させ、先端を楕円運動させて接触しているロータを駆動する。 共振させることにより高効率で、高速回転が可能であるが、接点の発熱と磨耗により寿命が短い。

進行波型超音波モータ

基本原理

圧電素子等により発生させた超音波振動（10-100kHz程度）を利用してステータにたわみ波動を発生させ、その進行波を利用してロータを駆動する。 ステータの進行波をロータに伝えるためにある程度の圧力で押さえる必要があり、接触面の精度を高くする必要がある。 ステータの進行波がうまく伝わらずにロータがすれると摩擦熱により発熱が増大する。

特徴

• 低速、高トルク
• 高速応答
• 中空構造が可能
• 電界、磁界の発生や影響が無い（MRIや電子ビームに影響を与えず使用できる）
• 連続使用により発熱量が増加（主に摩擦熱）
• 高性能なエンコーダとの組み合わせで高い位置決め精度が得られる
• 摩擦により位置保持のための消費電力はほとんど必要無い
• ギアを使って減速する必要が無いので小型化しやすい。また駆動音が静かである
• 製作に高い技術が必要

使用例

• カメラ用レンズのAF制御、ズームの制御（「写真レンズ」の項内の当該事項も参照）
• ロールスクリーン、ロールカーテンの駆動
• 自動車用シートのヘッドレスト、パワーウィンドウなどの駆動
• 腕時計
• 高磁場内（MRI等）のアクチュエータ
• ロボットのアクチュエータ
• 旋回台のアクチュエータ
• 位置決め装置のアクチュエータ

定在波型・縦屈曲多重振動子を用いた超音波モータ

基本原理

長方形圧電セラミック素子上に、市松格子状に4箇所の電極を形成し、その内の2個所の対角線上の電極に 40~80KHz程度の高周波電圧を加え、当該素子を伸縮・屈曲させ、素子の縦方向中央、上部に付設されたセラミックチップに楕円運動を生起させ、この運動を当該素子下部に付設されたバネにより、前記セラミックチップの楕円運動を被駆動体に伝達し、被駆動体をリニア、或いは回転運動させる。 詳細は公開特許・特開平7-184382、又はウエブサイトhttp://www.nanomotion.com 、 和文バージョンはhttp://www.p-andc.com/stmotor/ を参照。

共振型・縦屈曲多重振動子によるモータ

特徴

• 速度、推力共に、ダイナミックレンジが 進行波型に比し格段に広い。
• リニア、回転運動 共に同一モータで対応できる。
• モータの到達可能な分解能が10nm以下の為、精密位置決めに適している。
• 非磁性・真空環境対応のモータが容易に作製できる。
• 大きさが 10.2X9.3X3mm程度のマイクロモータが製作できる。
• モータ寿命が MTBF 20,000時間で 在来の進行波型に比べ長い。

使用例

• 電子ビーム描画、或いは検査装置用各種ステージ駆動
• レザービーム真円描画装置用ステージ駆動
• 細胞見本・指紋等、多量の画像データベース作成用、走査顕微鏡のオートフオーカス・スキャンニング駆動
• バイオテクノロジー用セルインジェクターの駆動
• 高磁場環境における機械系の駆動
• 光部品組立て用6軸並行リンクロボットの駆動
• コンデンサー素子の特性計測用 画像位置決め装置の駆動
• MRI用ベッドの駆動

外部リンク

• キヤノン
• キヤノンプレシジョン
• 新生工業
• ナノモーション社
• ナノモーション社和文バージョン
• セイコーインスツル
• ピエゾテック社（韓国）
• フコク

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